MFU概念解释 |
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MFU - Mask Field Utilization GDPW - Gross Die Per Wafer,每张wafer上die的数量 什么是MASK?在光刻机中,光源(紫外光、极紫外光)透过mask曝光在晶圆上形成图形。在同一尺寸的晶圆上,曝光的次数跟mask尺寸成反比,mask尺寸越小,曝光次数越多,成本越高,所以应该尽可能将mask尺寸做到最大。那如何将mask做大呢?那这就需要引入MFU的概念。 MFU - Mask Field Utilization,光刻掩膜版有效利用比例。实际mask size = die_area x N + scribe_line_area, N是一张mask内die数量,受限于scanner(推测是曝光的机器),mask尺寸最大可以做到26mm x 33mm,因此MFU 的计算公式是(die_area x N + scribe_line_area) / (26mm x 33mm)。理想情况是MFU做到100%,这样mask尺寸可以做到最大,曝光的次数就最小,曝光成本最低。但现实情况很难做到100%,通常会要求在80%以上,越高越好,也就是要优化die的尺寸,尽量将26mm x 33mm的尺寸用起来,这就是MFU。 有不同理解的,欢迎留言讨论。 参考https://zhuanlan.zhihu.com/p/546030366 http://www.360doc.com/content/22/0622/14/18252487_1036998928.shtml |
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